kewill超微量氣體流量計(jì)

簡(jiǎn)要描述：kewill超微量氣體流量計(jì)：操作使用方便，可任意位置安裝，廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè) 。

產(chǎn)品型號(hào)： FGM220

產(chǎn)品品牌：科威勒

更新時(shí)間：2025-03-04

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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詳情介紹

kewill超微量氣體流量計(jì)

原理&結(jié)構(gòu)

FGM220 質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller）是一款智能化、高精度可進(jìn)行準(zhǔn)確的質(zhì)量流量控制的氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品。該產(chǎn)品配備有電磁比例閥、不銹鋼1.4435接液材質(zhì)、高精度微機(jī)電流量芯片等，具有精度高、響應(yīng)速度快、穩(wěn) 定性好等特點(diǎn)。操作使用方便，可任意位置安裝，廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè) 。

kewill超微量氣體流量計(jì)

特點(diǎn)

分析和環(huán)保半導(dǎo)體加工燃燒控制器真空技術(shù) 表面處理食品和制藥化工（石化）等過(guò)程控制

應(yīng)用

溫度和壓力不敏感 *的零點(diǎn)穩(wěn)定性超快的響應(yīng)速度良好的重復(fù)性和再現(xiàn)性多種信號(hào)輸出方式配備高*比例電磁閥

技術(shù)參數(shù)

核心參數(shù)說(shuō)明
介質(zhì)要求：	潔凈干燥無(wú)腐蝕性氣體
介質(zhì)種類(lèi)：	空氣、氮?dú)?、氬氣、二氧化?/span>
	氦氣、氫氣、甲烷、氧氣等
量程：	0...50/100/500/1000 SCCM(每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升)
	0...5/20 SLM(每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升)
精度：	1.0% F.S
	1.5% F.S.
分辨率：	*低 0.01SCCM(每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升)
響應(yīng)時(shí)間：	≤1S

環(huán)境條件
介質(zhì)溫度：	0...50℃
工作溫度：	-20...70℃
工作濕度：	10%...90%RH（無(wú)結(jié)冰，無(wú)凝露）
工作壓力：	0...10bar
儲(chǔ)存溫度：	-20...85℃

電氣參數(shù)
供電電壓：	DC24V
功耗：	2.4W
啟動(dòng)時(shí)間：	<1S
預(yù)熱時(shí)間：	<10mS

信號(hào)類(lèi)型
模擬信號(hào)（電流、電壓）
接口類(lèi)型：	D-SUB 9 針
電壓信號(hào)：	0...5V & 1...5V
電流信號(hào)：	4...20mA

數(shù)字信號(hào)（RS485）
接口類(lèi)型：	RJ45和D-SUB 9 針
通信速率：	4800,9600(默認(rèn)),14400,19200,38400,56000,57600,
	115200,28000,230400,256000,460800,500000 （可
	通過(guò)指令或者上位機(jī)修改）
協(xié)議：	RS485（默認(rèn) Modbus-RTU協(xié)議）
設(shè)備地址：	1(默認(rèn))-250(可通過(guò)指令或者上位機(jī)修改)
*大節(jié)點(diǎn)數(shù)：	250

機(jī)械參數(shù)
接頭類(lèi)型：	卡套：8mm、12mm
	快插：6mm，8mm
	協(xié)議定制
主體材質(zhì)：	接液底座：陽(yáng)極氧化鋁合金
	不銹鋼1.4301(不銹鋼304)
	不銹鋼1.4435(不銹鋼316L)
	外殼：碳鋼
密封材質(zhì)：	FKM 氟橡膠
重量：	鋁：≈0.75kg
	不銹鋼：≈1.5kg